Verifire? Asphere?非球面檢測(cè)激光干涉儀 - ZYGO****的上乘結(jié)合
快速，非接觸，高精度的非球面3D測(cè)量激光干涉儀Verifire? Asphere – 運(yùn)用磚利的非接觸干涉技術(shù)，在生產(chǎn)和質(zhì)量控制中，對(duì)非球面進(jìn)行高精度、定量、三維的表面形貌測(cè)量。 基于ZYGO的兩個(gè)核心技術(shù)和磚利的多域測(cè)量方式，開(kāi)發(fā)出的系統(tǒng)可以對(duì)非球面進(jìn)行高精度的測(cè)量。系統(tǒng)中多個(gè)方向軸均為電動(dòng)控制，能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)調(diào)整、自動(dòng)采集數(shù)據(jù)和自動(dòng)進(jìn)行數(shù)據(jù)分析，*后得到快速、高精度、定量的非球面面形測(cè)量。
Verifire? Asphere系統(tǒng)是由Verifire? AT斐索型激光干涉儀和ZMI510位移干涉儀組成。線性位移干涉儀的兩個(gè)軸跟蹤被測(cè)件沿著光軸方向的運(yùn)動(dòng)，并且每2.5nm掃描一次，Verifire? AT斐索型激光干涉儀上的高分辨率1K×1K CCD使得每次掃描得到高于70萬(wàn)個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)。Verifire? AT主機(jī)如果配備Ring of Fire?擴(kuò)展光源，則表現(xiàn)出更高精度的干涉測(cè)量能力。根據(jù)被測(cè)件的直徑大小，Verifire? Asphere系統(tǒng)可以配置4英寸或6英寸的Verifire? AT索菲型激光干涉儀主機(jī)。